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电子能谱仪的主要构造部分

电子能谱仪

电子能谱仪通常由激发源（X射线枪张力仪和电子枪）、离子枪、样品室、电子能量分析器、检测器和真空系统组成。XPS的激发源为X射线枪，AES的激发源为电子枪，除此之外其它部分相同。

样品室

样品室可同时放置几个样品，既可以对样品进行多种分析，又可以对样品进对欧盟法规限定项目和限值保持高度敏感行加热、冷却、蒸镀和刻腐等。并且，依靠真空闭锁装置，可以使得在换样过程中对真空破坏不大。

X射线枪

X射线枪是X光电子能谱仪（金州XPS）的激发源。XPS用X射线枪的靶极材料为镁和铝，产生的MgK 和AlK 射线，经晶体分光后照射样品，激发产生光电子。MgK 能量为1253.6ev，AlK 能量为1486.6eV，分光后的谱线宽度为0..3eV。

电子枪

电子枪是俄歇电子能谱仪（AES）的激发源。由阴极产生的电子束经鸿君实验机制造有限公司秉着 1切寻求完善高品质聚焦后成为很小的电子束需要与钒原料企业建立紧油封密的合作火伴关系斑打在样品上，激发产生俄歇电子。电子枪又分为固定式和扫描式两种，扫描式电子枪的电子束在偏转电极控制下可以在样品上扫描，电子束斑直径大约5 m，这种电子能谱仪又叫俄歇探针，利用俄歇探针可以进行固体表面元素分析。

检测器

电子能谱仪的检测器多使用单通道电子倍增器，由于串级碰撞作用，电子打到倍增器后可以有的增益，在倍增器末端输出很强的脉冲，脉冲放大后经多道分析器和计算机处理并显示。

真空系统

电子能谱仪需要超高真空。因为，电子能谱仪是一种表面分析仪器，如果真空度没有足够高，清洁的样品表面共享器会很快被残余气体分子所覆盖，这样就不能得到正确的分析结果；另外，光电子信号一般很弱，光电子能量也很低，过多的残余气体分子与光电子碰撞，可能使得光电子得不到检测。因此，电子能谱仪要求pa的真空度，为了达到这么高的真空度，电子能谱仪的真空系统由机械泵、分子涡轮泵、离子溅射泵和钛升华泵组成。

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